Padiau caboli yw'r ategolion allweddol sy'n pennu ansawdd wyneb wafferi yn y broses sgleinio mecanyddol cemegol (CMP). Maent yn cynnwys deunyddiau fel ewyn polywrethan yn bennaf, sydd â microstrwythur mandyllog a gwrthiant traul uchel. Mae ei swyddogaethau craidd yn cynnwys trosglwyddo pwysau yn unffurf, storio hylif caboli, a chael gwared ar weddillion adwaith. Trwy addasu'r caledwch, gellir optimeiddio'r unffurfiaeth mewn-yr Wyddgrug (WID) ac yn- unffurfiaeth sglodion y wafer, yn y drefn honno. Mae dyluniad patrwm y rhigol yn effeithio'n uniongyrchol ar effeithlonrwydd dosbarthu'r hylif caboli. Mae'r rhigol radial yn gwella'r gyfradd symud deunydd, tra bod y rhigol cylch yn gwneud y gorau o orffeniad yr wyneb.
Mae perfformiad y pad caboli yn cael ei bennu gan 7 dangosydd craidd:
1.Density: Yn effeithio ar faint o anffurfiad
2.Hardness: Rheoleiddio effeithlonrwydd malu
3.Thickness: yn pennu'r unffurfiaeth pwysau
Patrwm 4.Groove: gwneud y gorau o ddosbarthu hylif
Paramedrau 5.Groove: lled / dyfnder yn effeithio ar gapasiti storio
Manylebau diamedr 6.Outer: mae angen eu haddasu i faint yr offer
Cyfansoddiad a strwythur pad caboli polywrethan
Mae padiau caboli polywrethan fel arfer yn defnyddio polywrethan perfformiad uchel fel y prif ddeunydd. Mae polywrethan yn fath o bolymer moleciwlaidd uchel gydag elastigedd da, ymwrthedd gwisgo a sefydlogrwydd cemegol.
Mae ei strwythur yn gyffredinol yn cynnwys haen caboli a haen gefn. Mae'r haen caboli mewn cysylltiad uniongyrchol â'r deunydd caboledig ac mae angen iddo gael nodweddion caledwch, garwedd a mandylledd addas i gyflawni effaith caboli effeithlon; mae'r haen gefn yn bennaf yn chwarae rôl cefnogi a gosod yr haen sgleinio, tra'n helpu i drosglwyddo pwysau caboli a chynnal sefydlogrwydd cyffredinol y pad caboli.
Nodweddion perfformiad padiau caboli polywrethan
Elastigedd uchel: gall ffitio wyneb y gwrthrych caboledig yn well, a gall hyd yn oed arwynebau crwm cymhleth gael eu caboli'n gyfartal, gan leihau'r pwysau lleol sy'n rhy fawr neu'n rhy fach yn ystod y broses sgleinio CMP, a thrwy hynny wella ansawdd y caboli.
Gwrthiant gwisgo uchel: Yn ystod y broses sgleinio tymor hir, gall gynnal ei siâp a'i berfformiad ei hun ac nid yw'n hawdd ei wisgo, sy'n ymestyn oes gwasanaeth y pad caboli ac yn lleihau cost ei ddefnyddio.
Gwastadedd uchel: Gall sicrhau gwastadrwydd yr arwyneb caboledig, sy'n hanfodol ar gyfer prosesu cydrannau optegol manwl uchel, sglodion lled-ddargludyddion, ac ati, a gall fodloni'r gofynion llym ar gyfer cywirdeb wyneb yn y meysydd hyn.
Sefydlogrwydd uchel: O dan amodau amgylcheddol gwahanol (fel newidiadau tymheredd a lleithder, ac ati), gall y pad caboli polywrethan barhau i gynnal sefydlogrwydd ei berfformiad a sicrhau cysondeb yr effaith sgleinio.