Gelwir gweithgynhyrchu sglodion yn em coron diwydiant modern ac mae hefyd yn ddiwydiant pen uchel y mae Tsieina yn canolbwyntio arno.
Er bod meysydd cymhwyso deunyddiau polywrethan wedi'u crynhoi'n bennaf mewn diwydiannau megis inswleiddio adeiladau, dodrefn ac offer, automobiles, esgidiau a dillad, mae yna hefyd gysgod o ddeunyddiau polywrethan mewn gweithgynhyrchu sglodion - megis padiau caboli CMP.
Datblygir CMP ar sail sgleinio cemegol a sgleinio mecanyddol, ond ar yr un pryd mae'n goresgyn diffygion sgleinio mecanyddol traddodiadol a sgleinio cemegol.
Mae offer CMP yn cynnwys tri phrif fodiwl: caboli, glanhau a throsglwyddo. Yn ystod y llawdriniaeth, mae'r pen caboli yn pwyso ar wyneb y wafer i gael ei sgleinio yn erbyn y pad caboli garw, ac yn cyflawni cynlluniad byd-eang gyda chymorth sgleinio cyrydiad hylif, ffrithiant gronynnau, ffrithiant pad caboli, ac ati.
Mae'r offer a'r nwyddau traul a ddefnyddir mewn technoleg CMP yn cynnwys: peiriant caboli, sgleinio slyri, pad caboli, offer glanhau ôl-CMP, canfod diweddbwynt caboli a chyfarpar rheoli prosesau, offer trin gwastraff a phrofi, ac ati.
Peiriannau sgleinio, sgleinio slyri a phad sgleinio yw tair elfen allweddol y broses CMP. Mae eu perfformiad a'u cydweddu yn pennu lefel llyfnder yr arwyneb y gall CMP ei gyflawni. Yn y broses sgleinio, y ddau ddeunydd pwysicaf yw hylif caboli a pad caboli.
Mae angen i badiau caboli CMP gael ymwrthedd cyrydiad da, hydrophilicity a phriodweddau mecanyddol. Mae'r rhai mwyaf cyffredin yn cael eu gwneud o ewyn polywrethan cellog anhyblyg gyda phatrwm o rigolau cymhareb agwedd gul, uchel. Mae gan polywrethan elastigedd da ac ymwrthedd gwisgo, a gall gynnal perfformiad cymharol sefydlog o dan weithred sgraffinyddion cyson. Ar yr un pryd, yn ystod y broses sgleinio, gall y micropores (priodweddau mecanyddol ac eiddo mandyllog amsugno dŵr) ar wyneb y pad caboli polywrethan ewynnog anhyblyg feddalu a garwhau wyneb y pad caboli, a gallant gadw gronynnau sgraffiniol yn y hylif caboli.
Gall y micropores hyn hefyd gasglu deunyddiau tynnu prosesu, cludo hylif sgleinio, a sicrhau cyrydiad cemegol, sy'n fuddiol i wella unffurfiaeth sgleinio ac effeithlonrwydd sgleinio.
Tagiau poblogaidd: polywrethan ar gyfer pad caboli cmp, polywrethan Tsieina ar gyfer pad caboli cmp gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr, ffatri
